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電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測(cè)

  • 發(fā)布日期:2024-12-24      瀏覽次數(shù):9
    • 電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測(cè)

      在半導(dǎo)體、電視、通訊設(shè)備等電子器件行業(yè)中,潔凈室中的分子污染物(AMC*)會(huì)影響產(chǎn)品和制造設(shè)備的性能,導(dǎo)致生產(chǎn)質(zhì)量缺陷。

      *AMC=空氣分子污染

      你有這樣的煩惱嗎?

      • 手動(dòng)分析需要成本、技能和時(shí)間。

      • 我想知道什么時(shí)候更換化學(xué)過(guò)濾器合適。

      • 電子元件模具的腐蝕

      • 制造設(shè)備鏡片霧鏡

      • 氧化膜耐壓性下降

      • 蝕刻不良

      • 薄膜生長(zhǎng)不良(晶體中出現(xiàn)缺陷)

      利用 HORIBA 的 AMC 監(jiān)控系統(tǒng)可視化污染狀況并降低管理成本

      HORIBA的AMC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)通過(guò)自動(dòng)測(cè)量支持污染物濃度的趨勢(shì)監(jiān)測(cè)以及化學(xué)過(guò)濾器的維護(hù)和管理,補(bǔ)充了傳統(tǒng)的手動(dòng)分析測(cè)量,為解決客戶的問(wèn)題做出了貢獻(xiàn)。此外,通過(guò)結(jié)合室外大氣測(cè)量,我們可以提出更全面的測(cè)量解決方案。

      特征

      • 通過(guò)穩(wěn)定的自動(dòng)連續(xù)測(cè)量
        來(lái)監(jiān)控污染趨勢(shì),我們可以估計(jì)產(chǎn)品和外圍設(shè)備的缺陷原因,以及何時(shí)更換化學(xué)過(guò)濾器。

      • 易于操作,
        無(wú)需特殊技能。減少行政成本、時(shí)間和人力成本

      • 該系統(tǒng)可以根據(jù)您的需求進(jìn)行升級(jí)。
        使用選線器的多點(diǎn)測(cè)量、使用手推車的便攜式測(cè)量等(可選)

      • 不僅支持潔凈室內(nèi)的大氣測(cè)量,還支持室外空氣的大氣測(cè)量。

      操作示例

      • 潔凈室或循環(huán)空氣中分子污染物 (AMC) 的測(cè)量

      • 在一些設(shè)備周圍等地點(diǎn)進(jìn)行集中測(cè)量

      • 檢測(cè)特定事件,例如由于交通流量(室外空氣)增加而導(dǎo)致的氮氧化物濃度增加

      提高時(shí)間分辨率 獲取連續(xù)數(shù)據(jù)有助于 AMC 的早期檢測(cè)!

      • 它可以捕獲測(cè)量值之間的詳細(xì)波動(dòng),這是每周手動(dòng)分析無(wú)法捕獲的。

      提高空間分辨率 通過(guò)多點(diǎn)測(cè)量估計(jì) AMC 的來(lái)源!

      • 它在大型工廠中特別有效,因?yàn)樗梢酝ㄟ^(guò)切換線路,用一臺(tái)設(shè)備測(cè)量多個(gè)位置(10 個(gè)或更多)。

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