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更新日期:2024-03-19
簡要描述:
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型)全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高
品牌 | 其他品牌 |
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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
特征
排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣
盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型)
全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高
配備涂層/蝕刻模式
應用/結(jié)果示例
各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應用
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸/ 2極面對電極 |
濺射靶 | 包含金靶 |
蝕刻目標 | 包括Al目標 |
膜厚設(shè)定方法 | 預設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
氣體導入機制 | 針閥 |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏) |
排氣操作 | 自動的 |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:15公斤 RP:9公斤 |