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日本sanyu electron臺式快速涂布機

訪問次數(shù):1591

更新日期:2024-03-19

簡要描述:

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣
盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型)
全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高

日本sanyu electron臺式快速涂布機
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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT


特征


  • 排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣

  • 盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型)

  • 全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高

  • 配備涂層/蝕刻模式

應用/結(jié)果示例


  • 各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等的應用

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT

基本規(guī)格


陰極φ2英寸/ 2極面對電極
濺射靶包含金靶
蝕刻目標包括Al目標
膜厚設(shè)定方法預設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體導入機制針閥
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
排氣操作自動的
箱體尺寸內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量身體:15公斤
RP:9公斤


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