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可測(cè)量殘留氣體成分的真空檢測(cè)技術(shù)分析
SC-10智能真空計(jì)是我公司開(kāi)發(fā)的一款全新的全自動(dòng)真空計(jì)，既可以測(cè)量殘余氣體成分，又可以測(cè)量全壓真空?？倝赫婵斩葟某旱?0-7Pa的
超高真空，當(dāng)總壓達(dá)到50Pa左右時(shí)，氣體組分自動(dòng)開(kāi)始分壓，測(cè)量從10-5Pa左右到10-6Pa霸是可以的?？梢栽诖殖閴悍秶鷥?nèi)測(cè)量氣體成分并進(jìn)行泄漏檢查，這是傳統(tǒng)氣體分析儀無(wú)法做到的。
?通過(guò)監(jiān)測(cè)殘留氣體成分，可以監(jiān)測(cè)真空設(shè)備的健康狀況，并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
?可以測(cè)量真空度（全壓）和氣體成分（分壓）的單體。
智能真空計(jì)可測(cè)量殘留氣體的成分，讓您在抽真空過(guò)程中快速了解真空設(shè)備的健康狀況，如泄漏、水汽脫氣等。下面兩張圖是同一臺(tái)設(shè)備的不同抽氣數(shù)據(jù)，圖1是正常抽氣，水蒸氣是決定總壓真空度的主要成分，而圖2是因漏氣而使用氮?dú)?。開(kāi)始向下抽真空約5分鐘后停止，如果繼續(xù)抽真空，約10分鐘后氮?dú)獬^(guò)水蒸氣，全壓真空度停止下降。通過(guò)使用智能真空計(jì)，您可以快速發(fā)現(xiàn)通過(guò)監(jiān)測(cè)總壓力真空無(wú)法檢測(cè)到的排氣異常及其原因。
使用智能真空計(jì)，您不僅可以知道是否有泄漏，還可以通過(guò)吹氦氣或吹氬氣找到泄漏的位置。圖3為Smart Vacuum Gauge Gauge當(dāng)氬氣吹到泄漏點(diǎn)時(shí)的數(shù)據(jù)，可以看出由于氬氣增加，氮?dú)鉁p少，這里出現(xiàn)了泄漏。堵漏后，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分，是典型的真空設(shè)備殘余氣體成分。
只需打開(kāi)它并將其連接到您的 PC，無(wú)需其他操作。SC-10 內(nèi)置的全量程真空計(jì)測(cè)量從大氣壓到超高真空的總壓，當(dāng)總壓達(dá)到約 50 Pa 時(shí)，將自動(dòng)開(kāi)始?xì)埩魵怏w成分的測(cè)量（分壓測(cè)量）。
即使恢復(fù)到大氣壓力，氣體成分測(cè)量也會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，因此無(wú)需擔(dān)心。
