SiC多晶的熱射流率分布均勻性評估
測定了SiC多晶(陶瓷)的熱擴散率分布,將燒結體微米量級的熱擴散率分布可視化。此外,可以測量作為寬帶隙材料的 GaN 和金剛石。
各種材料的熱物理特性(熱導率/熱射流率)的分布測量已成為可能,分辨率為微米級。通過評估材料中的熱性能(導熱率/熱流出率)分布,可以預期高導熱材料的特性將得到顯著改善。
碳化硅材料導熱系數 [Wm -1 K -1 ]
熱射流率 [Js -0.5 m -2 K -1 ]
4H-C 碳化硅44030,400
6H-C SiC單晶36628,100
碳化硅單晶27424,200
可以確認,AlN 的壓痕部分的熱擴散率低。
金屬玻璃的均勻性可以通過測量熱射流率的分布來確認。
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